Результаты научной деятельности
RIE Process Behavioral Models Based on Tree Ensembles and Neural Network
Статья в сборнике трудов конференции
Электронные средства и системы управления: XIII Международная научно-практическая конференция, посвященная 55-летию ТУСУРа
2017
Опубликовано
около 6 лет назад
Review of the application of virtual metrology approach in semiconductor manufacturing
Статья в сборнике трудов конференции
XIV Международная научно-практическая конференция "Электронные средства и системы управления"
2018
Опубликовано
больше 5 лет назад