Результаты научной деятельности
Плазмохимическое травление InP/InGaAs гетероструктуры в индуктивно связанной плазме Cl 2 /Ar/N 2 для формирования оптических волноводных структур
Статья в журнале
Доклады ТУСУР
2018
Опубликовано
больше 4 лет назад
Взаимодействие световых полей с неоднородными волноводными и многослойными дифракционными структурами в фотополимерных и фоторефрактивных средах
Монография
2020
Опубликовано
больше 3 лет назад