Методические указания к практическим занятиям и самостоятельной работе по дисциплине «Методы диагностики полупроводниковых структур»
Кафедра конструирования узлов и деталей радиоэлектронной аппаратуры
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
1 ВВЕДЕНИЕ..................................................................................................................................................... 3
2 ОБОСНОВАНИЕ ТЕМ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ И САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ....................................... 5
2.1 Устройства на полупроводниковых гетероструктурах................................................................................ 5
2.2 Дефекты структуры и электрическая деградация полупроводниковых гетероструктур в процессе работы 5
2.3 Электрические методы диагностики........................................................................................................... 7
2.4 Оптические методы диагностики................................................................................................................ 9
2.5 Структурные методы диагностики: зондовые методы исследования.......................................................... 11
3 МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗАНЯТИЙ.................................................................................. 15
3.1 Темы практических занятий........................................................................................................................ 15
3.2 Сценарий проведения практического занятия........................................................................................... 15
4 МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ............................................................................. 18
4.1 Темы самостоятельной работы................................................................................................................... 19
5 СПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ.................................................................................................... 20
