Методические указания к лабораторным работам
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение...................................................................................................................6
Лабораторная работа 1. Спектрометрия газовыделения из кристаллов....................7
1 Введение.................................................................................................................7
2 Теоретическая часть.................................................................................................7
2.1 Определение спектрометрии................................................................................7
2.2 Спектральный анализ...........................................................................................7
2.3 Спектральные приборы..........................................................................................8
2.4 Цветовая система RGB............................................................................................9
2.5 Контрольные вопросы по теории..........................................................................13
3 Экспериментальная часть........................................................................................13
3.1 Оборудование........................................................................................................13
3.1.1 Оптическая часть.................................................................................................13
3.1.3 Вакуумная схема установки................................................................................16
3.1.4 Схема охлаждения..............................................................................................17
3.1.5 Схема устройства в вакуумной камере................................................................18
3.1.6 Гидравлическая схема.........................................................................................18
3.1.7 Форвакуумный насос АВЗ – 20Д..........................................................................19
3.2 Задание....................................................................................................................22
3.3 Содержание отчета..................................................................................................25
Лабораторная работа 2. Молекулярная эпитаксия.........................................................27
1 Введение.....................................................................................................................27
2 Теоретическая часть....................................................................................................27
2.1 Понятие эпитаксии, виды эпитаксий.........................................................................27
2.2 Виды эпитаксий.........................................................................................................27
2.3 Теория кинетики процесса эпитаксии.......................................................................30
2.4 Формирование эпитаксиальных пленок путем термического испарения в вакууме...........................................................................................................................39
2.4.1 Этапы процесса нанесения пленок.........................................................................39
2.4.2 Испарение вещества в вакууме..............................................................................39
2.4.3 Взаимодействие потока испаренных атомов в пролетном пространстве....................................................................................................................40
2.5 Конденсация атомов на подложке.............................................................................40
2.6 Распределение испаряемого вещества по плоской подложке.....................................41
2.6.1 Факторы и условия, определяющие толщину пленки..............................................41
2.6.2 Расчет толщины наносимой пленки в случае точечного испарителя.........................................................................................................................42
2.7 Контрольные вопросы.................................................................................................45
3 Экспериментальная часть...............................................................................................46
3.1 Оборудование.............................................................................................................46
3.2 Задание........................................................................................................................47
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания...........................................47
3.4 Содержание отчета.....................................................................................................49
Лабораторная работа 3. Исследование процесса ионно-плазменного
распыления материалов....................................................................................................50
1 Введение........................................................................................................................50
2 Теоретическая часть........................................................................................................51
2.1 Плазма и ее свойства...................................................................................................51
2.2 Ионизация газов..........................................................................................................53
2.3 Ионно-плазменное распыление...................................................................................53
2.4 Основные требования к оборудованию для ионно-плазменного распыления.........................................................................................................................55
2.5 Электрофизические параметры систем ионно-плазменного распыления.........................................................................................................................56
2.6 Контрольные вопросы..................................................................................................58
3 Экспериментальная часть.................................................................................................58
3.1 Описание лабораторной установки................................................................................58
3.1.1 Устройство триодной системы ИПР..............................................................................58
3.1.2 Вакуумная система установки......................................................................................59
3.2 Задание на работу...........................................................................................................60
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания..................................................61
3.4 Содержание отчета..........................................................................................................62
Лабораторная работа 4. Исследование процесса электронно-лучевой обработки
материалов в безмасляном вакууме......................................................................................63
1 Введение.............................................................................................................................63
2 Теоретическая часть............................................................................................................64
2.1 Особенности процесса откачки.......................................................................................64
2.2 Средства для без масляной откачки газа.........................................................................65
2.3 Электронно-лучевая обработка материалов...................................................................66
2.3.1 Выбор режимов обезгаживания деталей приборов.....................................................66
2.3.2 Особенности проведения техпроцессов для уменьшения влияния углеводородов........................................................................................................................67
2.3.3 Выбор мощности электронного пучка.............................................................................68
2.4 Контрольные вопросы.......................................................................................................69
3 Экспериментальная часть....................................................................................................69
3.1 Оборудование....................................................................................................................69
3.1.1 Вакуумное оборудование................................................................................................69
3.1.2 Экспериментальная модель источника электронов.........................................................70
3.2 Задание на работу..............................................................................................................71
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания....................................................72
3.4 Вопросы для самопроверки................................................................................................73
3.5 Содержание отчета..............................................................................................................74