Процессы лазерной и электронно-ионной технологии

Учебное пособие

Задачей дисциплины «Процессы лазерной и электронно-ионной технологии» является ознакомление студентов с физическими явлениями, происходящими при лазерной и электронно-ионной обработке, режимами обработки, а также конструкциями устройств с описанием их принципов действия. Все это необходимо современному специалисту, работающему в области лазерной и электронно-ионной технологии для понимания физической сущности процессов и выполнения инженерных расчетов режимов операций на конкретном типе технологического оборудования. Пособие предназначено для студентов очной формы обучения, обучающихся по направлению 11.04.04 - «Электроника и наноэлектроника», 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика.

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Аксенов, А. И. Процессы лазерной и электронно-ионной технологии: Учебное пособие [Электронный ресурс] / А. И. Аксенов. — Томск: ТУСУР, 2018. — 123 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/7262.
Автор:   Аксенов А. И.
Год издания: 2018
Количество страниц: 123
Скачиваний: 14

Оглавление (содержание)

1. Введение 6

2. Торможение и пробег электронов в твердом теле 8

3. Отражение электронов и вторичная эмиссия. Эмиссия электронов из твердого тела 14

4. Свечение твердого тела, возбуждаемое воздействием потока электронов 17

5. Рентгеновское излучение при электронной бомбардировке. 20

Характеристическое излучение 23

6. Физико-химические превращения при облучении электронами 27

7. Тепловые процессы при облучении пучком электронов 31

7.1. Изменение свойств материалов под действием электронной бомбардировки 35

8. Процессы торможения ионов в веществе 37

8.1 Потери энергии при торможении ионов в веществе 38

8.2 Пробег ионов 39

9. Процессы ионного (катодного) распыления 42

10. Вторичная ионно-электронная эмиссия 49

11. Химическое действие ионов 52

12. Корпускулярно-лучевые установки 54

12.1. Классификация корпускулярно-лучевых установок 54

13. Принцип устройства корпускулярно-лучевых установок 58

14. Корпускулярно-оптические системы 59

14.1. Электронно-оптические системы 62

14.2. Ионно-оптические системы 67

15. Извлечение ионов из плазмы и первичное формирование ионного пучка 70

16. Источники ионов 75

16.1. Общие требования и классификация ионных источников 75

16.2 Источники ионов газов 82

16.3 Источники ионов металлов и твердых веществ 85

16.4 Источники ионов с поверхностной ионизацией и электронным ударом 86

16.5 Плазменные источники ионов с использованием испарения чистых веществ 88

16.6 Плазменные источники ионов тугоплавких элементов с катодным распылением рабочего вещества 93

16.7 Источники ионов с использованием процессов диссоциации химических соединений твердых веществ 98

16.8 Источники ионов на основе вакуумного дугового разряда с расходуемым катодом 99

16.8.1 Широкоапертурный источник ионов металлов 99

16.8.2 Технологический источник для ионной имплантации “Радуга” 103

16.8.3 Источник MEVVA 104

16.8.4 Тип ионов 106

16.8.5 Универсальный ионно – плазменный источник 107

17. Взаимодействие лазерного излучения с веществом 111

17.1 Классификация процессов взаимодействия излучения с веществом 112

17.2 Классическое описание линейных оптических эффектов взаимодействия излучения с веществом 114

17.3 Cтруктуро– и фазопреобразование лазерно-имплантированных слоев 115

17.3.1 Структурные изменения в металлах при наносекундном лазерном воздействии 115

17.3.2 Кристаллизация расплава в условиях кипения 117

17.3.3 Создание аморфных поверхностных слоев. 117

17.4 Лазерная имплантация 118

17.5 Внедрение и массоперенос в зоне лазерного воздействия 119

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 122



Похожие пособия