Методические указания к лабораторным работам
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
1. Требования охраны труда 5
1.1 Требования безопасности перед началом и окончанием работы 5
1.2 Требования безопасности в аварийных ситуациях 6
1.3 Порядок оформления работ 7
2. Лабораторная работа №1 8
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ 8
2.1 Электрохимический метод нанесения металлических покрытий 8
2.2 Теоретическая часть 9
2.3 Основные закономерности процесса электрохимического осаждения 12
2.4 Поляризация 13
2.5 Рассеивающая способность электролита 15
2.6 Посторонние включения в электролите 15
2.7 Режим ожидания 16
2.8 Особенности подготовки поверхностей к электрохимической металлизации 18
2.9 Технологические особенности электрохимической металлизации 19
2.9.1 Меднение 19
2.9.2 Никелирование 21
2.10 Определение толщины покрытий 22
2.11 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ 25
2.11.1 Экспериментальная установка 25
2.11.2 Подготовка установки к работе 26
2.11.3 Задание 27
2.11.4 Порядок выполнения работы и методические указания 28
3 Лабораторная работа №2 31
ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И ДЕТАЛЕЙ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ 31
3.1 Краткая теория 31
3.2 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ 32
3.3 Контроль качества очистки поверхности 38
3.4 Методы определения углов смачивания 44
3.4.1 Метод проекции капли 45
3.4.2 Измерение угла смачивания гониометрическим методом 46
3.4.3 Метод диаграммы отраженного света 48
3.5 Вопросы для самоконтроля 52
4.Лабораторная работа №3 53
НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТОДОМ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ 53
4.1 Краткая теория 53
4.1.1 Выбивание атомов с поверхности катода под действием ионной бомбардировки 54
4.1.2 Диффузия распыленных атомов в газовой фазе 55
4.1.3 Конденсация атомов на поверхности при катодном распылении 55
4.2 Порядок выполнения работы 57
4.3 Вопросы для самоконтроля 59
5 Лабораторная работа №4 60
ФОТОЛИТОГРАФИЯ 60
5.1 Краткая теория 60
5.2 Определение толщины пленок фоторезиста 63
5.3 Экспериментальную часть 65
5.4 Вопросы для самоконтроля 65
6 Лабораторная работа №5 66
СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ЛЮМИНОФОРОВ 66
6.1 Введение 66
6.2 Влияние состава основного вещества на люминесцентные свойства сульфидных фосфоров 68
6.3. Порядок выполнения арботы 69
6.3.1 Список посуды и химических реактивов, необходимых для выполнения задач 69
6.3.3 Приготовление шихты 70
6.3.4 Приготовление раствора активатора 71
6.3.5 Фотометр для исследования спектров люминесценции 72
6.3.6 Описание установки 72
6.3.7 Порядок регистрации спектров люминесценции 76
6.3.8 Расчет координат цветности по спектрам люминесценции 78
6.4 Вопросы для самоконтроля 82
7. Литература 83
ПРИЛОЖЕНИЕ А (справочное) 85
