Технология приборов оптической электроники и фотоники

Методические указания к практическим занятиям

Целью преподавания курса “Технология приборов оптической электроники и фотоники” является необходимость овладения научными основами проектирования и управления сложными технологическими процессами и оборудованием. Изучение дисциплины также определяется тем, что при выполнении практических заданий будущий специалист приобретает навыки рационального подхода к расчету и конструированию приборов с учетом требований того или иного технологического процесса. В задачи изучения дисциплины входят изучение не только традиционных технологических процессов, но и основ проектирования технологической подготовки производства с применением ЭВМ, а также построение алгоритмов, формализованных и математических моделей процессов и их автоматизация. Студенты должны приобрести навыки проектирования и эксплуатации особо сложного технологического оборудования, умение проводить научные исследования и эксперименты, обрабатывать и анализировать полученные результаты. Основная задача дисциплины – привить студентам навык в подходах к освоению сложных технологических процессов с применением высоких технологий.

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Технология приборов оптической электроники и фотоники: Методические указания к практическим занятиям [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 27 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3458
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2013
Количество страниц: 27
Скачиваний: 2
УДК:   621.383

Оглавление (содержание)

Введение

Практическое занятие No 1. Типовые технологические процессы в технологии приборов оптической электроники и фотоники

1.1 Цель занятия

1.2 Методические указания

1.2.1 Конструирование типовой схемы подготовки материалов оптической электроники к технологическим операциям (процессы очистки)

1.2.2 Конструирование последовательности технологических операций изготовления оптического волновода

1.2.3 Конструирование схемы измерения толщины оптической пленки

1.3 Задание для самостоятельной проработки темы

Практическое занятие No 2. Математическое моделирование и расчет технологических процессов

2.1 Цель занятия

2.2 Методические указания

2.2.1 Математическое моделирование процесса откачки газа для формирования оптического волновода (расчет вакуумной системы)

2.2.2 Математическое моделирование процесса формирования оптических пленок методом термического испарения материалов в вакууме

2.3 Задание для самостоятельной проработки темы

2.4 Задачи по теме

Практическое занятие No 3. Расчеты электрофизических параметров технологических процессов

3.1 Цель занятия

3.2 Методические указания

3.2.1 Некоторые соотношения для расчета электрофизических параметров источников частиц

3.2.1.1 Исследование плазменного источника электронов

3.2.1.2 Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом

3.2.1.3 Исследование плазмы газового разряда методом зондов

3.2.1.4 Исследование процесса электронно-лучевой обработки материалов в безмасляном вакууме

3.2.1.5 Исследование процесса ионной обработки материалов

3.2.1.6 Исследование устройства для ионно-плазменного распыления материалов

Практическое занятие No 4 Конференция. Презентация электрофизических

технологий для изготовления приборов оптической электроники

Список литературы


Похожие пособия