Технология приборов оптической электроники и фотоники

Введение

Практическое занятие No 1. Типовые технологические процессы в технологии приборов оптической электроники и фотоники

1.1 Цель занятия

1.2 Методические указания

1.2.1 Конструирование типовой схемы подготовки материалов оптической электроники к технологическим операциям (процессы очистки)

1.2.2 Конструирование последовательности технологических операций изготовления оптического волновода

1.2.3 Конструирование схемы измерения толщины оптической пленки

1.3 Задание для самостоятельной проработки темы

Практическое занятие No 2. Математическое моделирование и расчет технологических процессов

2.1 Цель занятия

2.2 Методические указания

2.2.1 Математическое моделирование процесса откачки газа для формирования оптического волновода (расчет вакуумной системы)

2.2.2 Математическое моделирование процесса формирования оптических пленок методом термического испарения материалов в вакууме

2.3 Задание для самостоятельной проработки темы

2.4 Задачи по теме

Практическое занятие No 3. Расчеты электрофизических параметров технологических процессов

3.1 Цель занятия

3.2 Методические указания

3.2.1 Некоторые соотношения для расчета электрофизических параметров источников частиц

3.2.1.1 Исследование плазменного источника электронов

3.2.1.2 Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом

3.2.1.3 Исследование плазмы газового разряда методом зондов

3.2.1.4 Исследование процесса электронно-лучевой обработки материалов в безмасляном вакууме

3.2.1.5 Исследование процесса ионной обработки материалов

3.2.1.6 Исследование устройства для ионно-плазменного распыления материалов

Практическое занятие No 4 Конференция. Презентация электрофизических

технологий для изготовления приборов оптической электроники

Список литературы