Исследование вторичной электронной эмиссии

Цель настоящей работы: изучить физику явления вторичной электронной эмиссии, исследовать зависимость коэффициента вторичной эмиссии от энергии первичных электронов, определить энергетический спектр вторичных электронов. В ходе выполнения работы у студентов формируется способность осуществлять сбор и анализ исходных данных для расчета и проектирования электронных приборов, схем и устройств различного функционального назначения (ПК-9); способность аргументировано выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения (ПК-20). Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению 210100.62 – Электроника и наноэлектроника по курсу «Вакуумная и плазменная электроника».