Исследование вторичной электронной эмиссии

Методические указания к лабораторной работе для студентов направления 210100.62 – Электроника и наноэлектроника

Цель настоящей работы: изучить физику явления вторичной электронной эмиссии, исследовать зависимость коэффициента вторичной эмиссии от энергии первичных электронов, определить энергетический спектр вторичных электронов. В ходе выполнения работы у студентов формируется способность осуществлять сбор и анализ исходных данных для расчета и проектирования электронных приборов, схем и устройств различного функционального назначения (ПК-9); способность аргументировано выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик приборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различного функционального назначения (ПК-20). Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению 210100.62 – Электроника и наноэлектроника по курсу «Вакуумная и плазменная электроника».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Аксенов, А. И. Исследование вторичной электронной эмиссии: Методические указания к лабораторной работе для студентов направления 210100.62 – Электроника и наноэлектроника [Электронный ресурс] / А. И. Аксенов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 11 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3454
Автор:   Аксенов А. И.
Год издания: 2013
Количество страниц: 11
Скачиваний: 34

Оглавление (содержание)

1 Введение

2 Теоретическая часть

2.1 Коэффициент вторичной эмиссии

2.2 Зависимость σ от энергии первичных электронов

2.3 Распределение вторичных электронов по энергиям

2.4 Контрольные вопросы

3 Экспериментальная часть

3.1 Схема для снятия характеристик

3.2 Задание

3.3 Порядок выполнения работы

3.4 Содержание отчета

Рекомендуемая литература


Похожие пособия