Методическое пособие к лабораторной работе
Дальнейший прогресс в развитии твердотельной электроники связан с изучением электронных свойств приповерхностных слоев полупроводников, свойств межфазных границ типа «диэлектрик - полупроводник». По этим причинам изучение свойств структур металлдиэлектрик-полупроводник (МДП) представляется важным как для понимания принципа работы всех поверхностно-барьерных приборов современной твердотельной электроники, так и современных методов исследования их параметров.
Библиографическая запись:
Давыдов, В. Н. Исследование свойств мдп - структур: Методическое пособие к лабораторной работе [Электронный ресурс] / В. Н. Давыдов. — Томск: ТУСУР, 2011. — 19 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1802
Оглавление (содержание)
1. Введение
2. Теоретическая часть
2.1. Основные понятия и параметры
2.2. Энергетическое состояние поверхности в электрическом поле
2.3. Вольт-фарадные характеристики МДП-структуры.
3. Экспериментальная часть
3.1. Методика измерений емкости МДП-структуры
3.2. Описание экспериментальной установки
3.3. Практическое руководство по проведению измерений
3.4. Задание к лабораторной работе
4. Требования к оставлению и оформлению отчета
5. Литература