Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника, очная форма обучения, ПИШ
Учебный план набора 2023 года (индивидуальный учебный план)
Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева
Основная литература
Дополнительная литература
Учебно-методическое пособие
Современные микро- и нанотехнологии [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 56 с.
Доступно в библиотеке:
24
экземляра
Дисциплины
Физика и технология МЭМС
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника
Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.01
Форма обучения: очная
Факультет: ПИШ
Кафедра: ПИШ
Курс: 1
Семестр: 2
Учебный план набора 2023 года