Научно-исследовательская работа, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника (очная форма обучения, ФЭ)

Учебный план набора 2013 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2016

Основная литература

Дополнительная литература

Технология тонких пленок: справочник: В 2 т.: Пер. с англ. – М.: Советское радио, 1977 – Т. 2 / ред. Л. Майссел, ред. Р. Глэнга. – М.: Советское радио, 1977. – 768 с.
Доступно в библиотеке: 11 экземпляров
Тонкопленочная технология: Пер. с англ. / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис; пер. В.И. Генкин, пер. Е.И. Гиваргизов. – М.: Энергия, 1972. – 336 с.
Доступно в библиотеке: 12 экземпляров
Технология тонких пленок: справочник: в 2 т.: пер. с англ. / ред. Л. Майссел, ред. Р. Глэнг, ред. пер. М.И. Елинсон, ред. пер. Г.Г. Смолко. – М.: Советское радио, 1977 – Т. 1 / К.А. Нейгебауэр, С.Мадер, И.Х. Кан. – М.: Советское радио, 1977. – 664 с.
Доступно в библиотеке: 13 экземпляров
Получение тонкопленочных элементов микросхем: производственно-практическое издание / Б.С. Данилин. – М.: Энергия, 1977. – 135[1] с.
Доступно в библиотеке: 59 экземпляров
Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие / Г.А. Воробьев, Т.И. Данилина, К.И. Смирнова; ред. З.А. Шандра; ТИАСУР. – Томск: Издательство Томского университета, 1991. – 124 с.
Доступно в библиотеке: 131 экземпляр

Учебно-методическое пособие

Тонкие пленки в микроэлектронике: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе / К.И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. – Томск: ТУСУР, 2007. – 49 с.
Доступно в библиотеке: 49 экземпляров

Дисциплины

+

Научно-исследовательская работа

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.5.2

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 4

Семестр: 7

Учебный план набора 2013 года

План в архиве