Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2013 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Вакуумная и плазменная электроника [Электронный ресурс] : учебное пособие для студентов направления «210100.62 – Электроника и наноэлектроника» / А. И. Аксенов, А. Ф. Злобина, Е. М. Окс ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2013. - on-line, 128 с. - Б. ц.
УДК
621.38
Доступно в библиотеке:
1
экземпляр
Дополнительная литература
Окс Е.М. Основы физики низкотемпературной плазмы. Методическое пособие. – Томск: ТУСУР, 1997. - 87 с.
Доступно в библиотеке:
26
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Вакуумная и плазменная электроника [Электронный ресурс] : методические указания к практическим занятиям / А. И. Аксенов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2013. - on-line, 40 с. - Б. ц.
УДК
621.38
Доступно в библиотеке:
1
экземпляр
Вакуумная и плазменная электроника [Электронный ресурс] : методические указания по самостоятельной работе / А. И. Аксенов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2013. - on-line, 16 с. - Б. ц.
УДК
621.38
Доступно в библиотеке:
1
экземпляр
Исследование термоэлектронной эмиссии [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе для студентов направления 210100.62 – Электроника и наноэлектроника / А. И. Аксенов ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2013. - on-line, 21 с. - Б. ц.
УДК
537
Доступно в библиотеке:
1
экземпляр
Дисциплины
Вакуумная и плазменная электроника
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.9
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 2
Семестр: 4
Учебный план набора 2013 года
План в архиве