Сайты ТУСУРа

Процессы микро- и нанотехнологии, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2013 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Год издания: 2016

Основная литература

Дополнительная литература

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радио-электроники. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5
Доступно в библиотеке: 103 экземляра

Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке: 52 экземляра

Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра. - М.: Радио и связь, 1991. - 528 с.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Учебно-методическое пособие

Данилина Т.И., Сахаров Ю.В. Технология тонкопленочных микросхем : Методические указания по выполнению лабораторных работ. – Томск: ТУСУР, 2007. – 63 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров

Методы исследования материалов и структур электроники : лабораторный практикум для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / С. В. Смирнов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 58 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский госу-дарственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 53 с.
Доступно в библиотеке: 47 экземпляров

Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 21 с.
Доступно в библиотеке: 30 экземпляров


Дисциплины

+

Процессы микро- и нанотехнологии

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.10

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 4

Семестр: 7, 8

Учебный план набора 2013 года

План в архиве