Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2021 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Технология материалов электронной техники : Учебное пособие / А. А. Жигальский ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 151[1] с.
Доступно в библиотеке:
98
экземпляров
Дополнительная литература
Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов : Учебник для вузов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. - 3-е изд., стереотип. - СПб. : Лань, 2002. - 424 с. : ил. - (Учебники для вузов. Специальная литература). - Загл. на тит.листе : Технология полупроводниковых и диэлектрических приборов. - Библиогр.: с. 418.
Доступно в библиотеке:
212
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Технология материалов электронной техники : Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе / А. А. Жигальский ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с.
Доступно в библиотеке:
47
экземпляров
Дисциплины
Технология материалов микро- и наноэлектроники
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.02.04
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 2
Семестр: 4
Учебный план набора 2021 года