Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 03.06.01 Физика и астрономия
Профиль: Физическая электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2015 года
Кафедра физической электроники
Автор:
Троян П. Е.
Год издания: 2018
Дополнительная литература
Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке:
52
экземляра
Учебно-методическое пособие
Сборник задач и расчетов по физической электронике : учебное пособие для вузов / С. М. Левитский. - Киев : Издательство Киевского университета, 1964. - 210[2] с. (пособие используется для практических занятий и самостоятельной работы)
Доступно в библиотеке:
14
экземпляров
Физическая электроника в задачах : сборник задач / Б. Н. Швилкин, Н. А. Мискинова. - М. : Наука, 1987. - 253[3] с. (пособие используется для практических занятий и самостоятельной работы)
Доступно в библиотеке:
4
экземляра
Дисциплины
Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий
Направление подготовки (специальность): 03.06.01 Физика и астрономия
Профиль: Физическая электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.1.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 2
Семестр: 3
Учебный план набора 2015 года