Технологии получения тонких пленок и пленочных структур, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 03.06.01 Физика и астрономия

Профиль: Физическая электроника (очная форма обучения, ФЭ)

Учебный план набора 2017 года

Кафедра физической электроники


Автор:   Троян П. Е.
Год издания: 2018

Основная литература

Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 179[1] с.
Доступно в библиотеке: 99 экземпляров

Дополнительная литература

Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. З. А. Шандра ; ТИАСУР. - Томск : Издательство Томского университета, 1991. - 124 с.
Доступно в библиотеке: 114 экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 103 экземляра
Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность : Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке: 54 экземляра

Учебно-методическое пособие

Физическая электроника в задачах : сборник задач / Б. Н. Швилкин, Н. А. Мискинова. - М. : Наука, 1987. - 253[3] с. (пособие используется для практических занятий и самостоятельной работы)
Доступно в библиотеке: 4 экземляра

Дисциплины

+

Технологии получения тонких пленок и пленочных структур

Направление подготовки (специальность): 03.06.01 Физика и астрономия

Профиль: Физическая электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.1.2

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 2

Семестр: 3

Учебный план набора 2017 года