Технология материалов микро- и наноэлектроники, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника (очная форма обучения, ФЭ)

Учебный план набора 2016 года

Кафедра физической электроники


Год издания: 2018

Основная литература

Дополнительная литература

Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов: Учебник для вузов /Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. – 3-е изд., стереотип. – СПб.: Лань, 2002. – 424 с
Доступно в библиотеке: 212 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Технология материалов микро- и наноэлектроники

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.5

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 3

Семестр: 5

Учебный план набора 2016 года