Физико-химические процессы в технологии микро- и наноэлектроники, 2013

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств

Профиль: Проектирование и технология электронно-вычислительных средств (очная форма обучения, КИБЭВС)

Учебный план набора 2013 года (План в архиве)

Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга


Авторы:   Иванов А. А. и Туев В. И.
Год издания: 2013

Основная литература

Чикин Е. В. Физико-химические основы технологии электронных систем: Учебное пособие.- Томск: ТМЦДО, 2006.- 209 с.
Доступно в библиотеке: 65 экземпляров
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 томах / под общей редакцией Ю. Н. Коркишко/ - том 1. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний.
Доступно в библиотеке: 45 экземпляров

Дополнительная литература

Королев М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. - М.: БИНОМ. Лаборатория знаний. Часть 1, 2010. - 396 с.
Доступно в библиотеке: 10 экземпляров

Учебно-методическое пособие

Методические указания по самостоятельной работе приведены в учебно-методическом пособии [2]: с.4.
Доступно в библиотеке: 100 экземпляров
Чикин Е. В. Лабораторные работы по химии: учебно-методическое пособие. Томск: ТУСУР, 2012. - 77 с.
Доступно в библиотеке: 51 экземпляр
Чикин Е. В. Сборник задач по общей химии: учебно-методическое пособие. Томск: ТУСУР, 2015. - 296 с.
Доступно в библиотеке: 100 экземпляров
Чикин Е. В. Физико-химические основы технологии электронных средств: учебно-методическое пособие. -Томск: ТМЦДО, 2006. -63 с. (к практической работе)
Доступно в библиотеке: 8 экземпляров

Дисциплины

+

Физико-химические процессы в технологии микро- и наноэлектроники

Направление подготовки (специальность): 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств

Профиль: Проектирование и технология электронно-вычислительных средств

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.11.2

Форма обучения: очная

Факультет: РКФ

Кафедра: РЭТЭМ

Курс: 2

Семестр: 4

Учебный план набора 2013 года

План в архиве