Сайты ТУСУРа

Методы анализа и контроля наноструктурированнных материалов и систем, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2015 года

Кафедра физической электроники


Год издания: 2016

Основная литература

Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2010. - 115 с.
Доступно в библиотеке: 6 экземпляров

Смирнов С.В. Методы исследования материалов и структур электроники: учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 170 с.
Доступно в библиотеке: 96 экземпляров

Дополнительная литература

Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: Учебное пособие для вузов: Пер. с англ.; ред. Пер.: С.Л, Баженов; авт. Дополнения: О.В. Егорова. – М.: Техносфера, 2006. – 377 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров

Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности: научное издание. – М.: Мир, 1989. – 564 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров

Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии : Монография: Пер. с англ. / М.П. Сих [и др.]; ред.: Д. Бриггс, М.П. Сих; ред. Пер.: В.И. Раховский, И.С. Рез. – М.: Мир, 1987. – 598 с.
Доступно в библиотеке: 2 экземляра

Вилков Л.В., Пентин Ю.А. Физические методы исследования в химии: Резонансные и электрооптические методы: учебник для вузов. – М.: Высшая школа, 1989. – 288 с.
Доступно в библиотеке: 1 экземпляр


Дисциплины

+

Методы анализа и контроля наноструктурированнных материалов и систем

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.10

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс:

Семестр:

Учебный план набора 2015 года