Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2013 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
1. Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с : рис., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 317-318. - ISBN 978-5-86889-713-9
Доступно в библиотеке:
30
экземпляров
Дополнительная литература
1. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов: учебное пособие / Г.Я. Красников. – М.: Техносфера, 2011. – 800 с.
Доступно в библиотеке:
2
экземляра
2. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч. / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. / Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М.А.Королев, Т.Ю.Крупкина, М.А.Ревелева. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 397 с.
Доступно в библиотеке:
10
экземпляров
3. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч. / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. / Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования / М.А.Королев [и др.]. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – 423 с.
Доступно в библиотеке:
35
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Технология кремниевой наноэлектроники
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.8.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 4
Семестр: 8
Учебный план набора 2013 года
План в архиве