Сайты ТУСУРа

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2, 2017

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2015 года

Кафедра физической электроники


Автор:   Битнер Л. Р.
Год издания: 2017

Основная литература

Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл: монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян. – Томск: ТУСУР, 2007. – 179 с.
Доступно в библиотеке: 99 экземпляров

Смирнова К.И. Тонкие пленки в микроэлектронике: учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 109 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Данилина Т.И. Технология тонкопленочных микросхем: учебное пособие, - Томск: ТУСУР, 2007. - 151 с.
Доступно в библиотеке: 49 экземпляров

Дополнительная литература

Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б.С. Данилин; ред. Р.А. Нилендер. – М.: Энергия, 1972. – 253 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров

Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание / Г.А. Воробьев, В.А. Мухачев. – М.: Советское радио, 1977. – 69 с.
Доступно в библиотеке: 147 экземпляров


Дисциплины

+

Учебно-исследовательская работа в семестре - 2

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.5.1

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс:

Семестр:

Учебный план набора 2015 года