Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2016 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Смирнова К.И. Тонкие пленки в микроэлектронике: учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 109 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Данилина Т.И. Технология тонкопленочных микросхем: учебное пособие, - Томск: ТУСУР, 2007. - 151 с.
Доступно в библиотеке:
49
экземпляров
Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл: монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян. – Томск: ТУСУР, 2007. – 179 с.
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Дополнительная литература
Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б.С. Данилин; ред. Р.А. Нилендер. – М.: Энергия, 1972. – 253 с.
Доступно в библиотеке:
5
экземпляров
Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание / Г.А. Воробьев, В.А. Мухачев. – М.: Советское радио, 1977. – 69 с.
Доступно в библиотеке:
147
экземпляров
Дисциплины
Учебно-исследовательская работа в семестре - 2
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.5.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс:
Семестр:
Учебный план набора 2016 года