Сайты ТУСУРа

Методы исследования и анализа микро- и наноструктур (ГПО 2), 2017

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2016 года

Кафедра физической электроники


Год издания: 2017

Основная литература

Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов про-изводства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем: учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2010. - 115 с.
Доступно в библиотеке: 6 экземпляров

Дополнительная литература

Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности: научное издание. – М.: Мир, 1989. – 564 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров

Вилков Л.В., Пентин Ю.А. физические методы исследования в химии: Резонансные и электро-оптические методы: учебник для вузов. – М.: высшая школа, 1989. – 288 с.
Доступно в библиотеке: 1 экземпляр

Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: учебное пособие для вузов: пер. с англ.; ред. Пер. С.Л. Баженов, доп. К гл. 3 О.В. Егоров. – М.: Техносфера, 2004. – 377 с.
Доступно в библиотеке: 8 экземпляров

Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: Учебное пособие для вузов: Пер. с англ.; ред. Пер.: С.Л, Баженов; авт. Дополнения: О.В. Егорова. – М.: Техносфера, 2006. – 377 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров


Дисциплины

+

Методы исследования и анализа микро- и наноструктур (ГПО 2)

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.5.2

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс:

Семестр:

Учебный план набора 2016 года