Сайты ТУСУРа

Физика пленочных наноструктур, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2015 года

Кафедра физической электроники


Автор:   Мухачев В. А.
Год издания: 2016

Основная литература

К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебное пособие. Томск: ТУСУР, 2012.- 110 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Дополнительная литература

Физика тонких пленок. Том 4. Сб. статей под общей редакцией Г. Хасса и Р.Э.Туна, М.: «Мир», 1970. – 440 с.
Доступно в библиотеке: 7 экземпляров

Технология тонких пленок. Справочник. Том 1,2. –М.: Сов. радио, Т.2, 1977. -768 с.
Доступно в библиотеке: 14 экземпляров

Физика тонких пленок. Том 8. Сб. статей под общей редакцией Г. Хасса, М. Франкомба и Р.Гофмана, М.: «Мир», 1978. – 359 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров

Электропроводность тонких диэлектрических пленок. – Учебное пособие: Ленинградский политехнический институт им. М.И.Калинина, 1981.- 55 с.
Доступно в библиотеке: 4 экземляра

Б.А.Бочкарев, В.А.Бочкарева. Керметные пленки.:«Энергия», Ленинградское отд., 1975.- 152 с.
Доступно в библиотеке: 2 экземляра

Технология тонких пленок. Справочник. Том 1,2. –М.: Сов. радио, Т.1, 1977.- 664 с.
Доступно в библиотеке: 13 экземпляров

Г.А.Воробьев, В.А.Мухачев. Пробой тонких диэлектрических пленок. – М.:«Советское радио», 1977.- 70 с.
Доступно в библиотеке: 36 экземпляров


Дисциплины

+

Физика пленочных наноструктур

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.2

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс:

Семестр:

Учебный план набора 2015 года