Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2014 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл: монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. – Томск: ТУСУР, 2007. – 179
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Тонкие пленки в микроэлектронике: учебное пособие / К. И. Смирнова; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. – Томск: ТУСУР, 2007. – 109 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дополнительная литература
Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание / Г.А. Воробьев, В.А. Мухачев. – М.: Советское радио, 1977. – 69 с.
Доступно в библиотеке:
147
экземпляров
Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б.С. Данилин; ред. Р.А. Нилендер. – М.: Энергия, 1972. – 253 с.
Доступно в библиотеке:
5
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Учебно-исследовательская работа в семестре - 2
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.4.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 5
Учебный план набора 2014 года
План в архиве