Выпускная квалификационная работа Янина Сергея Сергеевича

Название: Разработка контроллера управления электроприводами стола установки измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин

Тип: Магистерская диссертация

Год защиты: 2024

Руководитель: Башкиров Александр Иванович, доцент каф. ЭП, канд. физ.-мат. наук

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Квантовая и оптическая электроника