Выпускная квалификационная работа Галсановой Баярмы Булатовны

Название: Исследование процесса контактной фотолитографии при создании тонкопленочных резисторов на основе тантала

Тип: Бакалаврская работа

Год защиты: 2023

Руководитель: Чистоедова И.А., канд.техн.наук, доцент кафедры ФЭ

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике