Выпускная квалификационная работа Житушкина Кирилла Юрьевича

Название: Технология получения пленок пентаоксида тантала

Тип: Бакалаврская работа

Год защиты: 2023

Руководитель: Сахаров Ю.В., д-р техн.наук, профессор кафедры ФЭ

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике