Выпускная квалификационная работа Бескреснова Владимира Алексеевича

Название: Электронно-лучевая обработка Al2O3 и AlN керамики плазменным источником электронов

Тип: Магистерская диссертация

Год защиты: 2023

Руководитель: Климов А.С., д-р техн. наук, профессор кафедры физики

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Твердотельная электроника