Выпускная квалификационная работа Гайворонского Дмитрия Сергеевича
Название: Нанесение тонких пленок с помощью дугового режима из катодного пятна с катодной диффузной привязкой.
Тип: Диссертация
Год защиты: 2020
Руководитель: Орликов Л.Н.
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Квантовая и оптическая электроника