Сайты ТУСУРа

Выпускная квалификационная работа Гайворонского Дмитрия Сергеевича

Название: Нанесение тонких пленок с помощью дугового режима из катодного пятна с катодной диффузной привязкой.

Тип: Диссертация

Год защиты: 2020

Руководитель: Орликов Л.Н.

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Квантовая и оптическая электроника