Выпускная квалификационная работа Гринько Дарьи Александровны

Название: ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ НА РАЗРЕШАЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Тип: Бакалаврская работа

Год защиты: 2020

Руководитель: истоедова И.А.

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике