Выпускная квалификационная работа Полынцева Егора Сергеевича

Название: Разработка эффективных режимов плазмохимического осаждения диэлектрика на основе Si3N4 для получения высоконадежных мощных СВЧ транзисторов и монолитных интегральных схем

Тип: Выпускная квалификационная работа

Год защиты: 2019

Руководитель: Аксёнов Александр Иванович

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника, Квантовая и оптическая электроника