Выпускная квалификационная работа Артамонова Игоря Дмитриевича

Название: Исследование влияния рабочего давления на параметры пленок при магнетронном осаждении

Тип: Выпускная квалификационная работа

Год защиты: 2019

Руководитель: Аксенов А.И.

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника, Квантовая и оптическая электроника