Сайты ТУСУРа

Выпускная квалификационная работа Зарецкой Анастасии Николаевны

Название: Разработка технологии изготовления МИС СВЧ с использованием методов оптической литографии и термического оплавления фоторезистов

Тип: Диссертация

Год защиты: 2017

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Твердотельная электроника