Выпускная квалификационная работа Попова Артема Александровича
Название: ПОСТРОЕНИЕ ПОВЕДЕНЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПРОИЗВОДСТВА ИНЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
Тип: Диссертация
Год защиты: 2018
Руководитель: Данилина ..
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Твердотельная электроника