Выпускная квалификационная работа Селезневой Светланы Анатольевны
Название: ПЛЕНКИ НИТРИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫЕ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ
Тип: Бакалаврская работа
Год защиты: 2018
Руководитель: Смирнов С.В.
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике