Сайты ТУСУРа

Выпускная квалификационная работа Гапоновой Юлии Сергеевны

Название: Получение пленок SixNy методом стимулированного плазмохимического осаждения

Тип: Бакалаврская работа

Год защиты: 2017

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике