Выпускная квалификационная работа Охотникова Виталия Владимировича
Название: Разработка научно-технических основ получения CVD алмаза в микроэлектронике
Тип: Диссертация
Год защиты: 2016
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Твердотельная электроника