Результаты научной деятельности
Изменение структуры и электрофизических свойств пористых пленок диоксида кремния при модификации углеродом в магнетронном разряде
Статья в журнале
Успехи прикладной физики
2019
Опубликовано
почти 5 лет назад
Автор:
Сахаров Ю. В.