Алгоритм автоматизированного визуального контроля при производстве МИС СВЧ с использованием искусственных нейронных сетей

Статья в сборнике трудов конференции

Визуальный контроль при производстве СВЧ МИС заключается в контроле качества изготавливаемых устройств по их внешнему виду. Современные масштабы выпуска МИС и полупроводниковых приборов настолько огромны, что визуальный контроль отнимает большое количество времени и требует значительных усилий со стороны контролирующего оператора. Автоматизация визуального контроля с использованием искусственных нейронных сетей позволяет повысить скорость и качество детектирования дефектов с сохранением интеллектуального уровня распознавания дефектов.

Библиографическая запись: Ширяев, Б. В. Алгоритм автоматизированного визуального контроля при производстве МИС СВЧ с использованием искусственных нейронных сетей [Электронный ресурс] / Б. В. Ширяев // Новые информационные технологии в исследовании сложных структур: Материалы Двенадцатой конференции с международным участием. - Томск: НИ ТГУ, 2018. - С. 102-103.

Конференция:

• Новые информационные технологии в исследовании сложных структур
• Россия, Алтайский край, Катунь, 4-08 июня 2018,
• Международная

Издательство:

Национальный исследовательский Томский государственный университет

Россия, Томская область, Томск