Влияние механизма десорбции газа на формирование покрытий на стеклоподобных материалах

Статья в сборнике трудов конференции

Исследована десорбция газа из вольфрамового испарителя и подложки из ниобата лития при термическом формировании медной пленки в вакууме. Установлено, что при скорости нагрева испарителя 50 К/сек количество выделяющегося газа на два порядка превышает количество газа, выделяющегося при скорости 200 К/сек. Эффект объясняется различной скоростью диффузии газа из испарителя и ниобата лития.

Библиографическая запись: Орликов, Л. Н. Влияние механизма десорбции газа на формирование покрытий на стеклоподобных материалах [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов // Прогрессивные технологии в современном машиностроении. Материалы и технологии XXI века : сборник статей XVI Международной научно-технической конференции (Пенза, 24-25 июня 2021 г.). – Пенза : Приволжский Дом знаний, 2021. – С. 90-93.

Конференция:

• Прогрессивные технологии в современном машиностроении. Материалы и технологии XXI века
• Россия, Пензенская область, Пенза, 24-25 июня 2021,
• Международная

Издательство:

Приволжский Дом знаний

Россия, Пензенская область, Пенза