Особенности технологии синтеза прозрачных проводящих оксидных пленок

Статья в сборнике трудов конференции

The paper presents the results of the development of technology for the synthesis of transparent conductive oxide films without the need for high-temperature processing. As a result of the research, features of mechanisms affecting the formation of low-resistance ITO films were identified. This result made it possible to develop a technology for sputtering ITO films with a resistance of less than 20 Ω / □ at a forming temperature of 95ºС.

Библиографическая запись: Жидик, Ю. С. Особенности технологии синтеза прозрачных проводящих оксидных пленок: [Электронный ресурс] / Ю. С. Жидик, П. Е. Троян, В. В. Козик // Полифункциональные химические материалы и технологии: Материалы международной научной конференции (Томск, 22-25 мая 2019 г.): Сборник статей. – Т. 1. – Томск: Офсет Центр, 2019. – С. 54-56.

Конференция:

• Международная научная конференция «Полифункциональные химические материалы и технологии»
• Россия, Томская область, Томск, 22-25 мая 2019,
• Российская

Издательство:

Офсет Центр

Россия, Томская область, Томск