Экспертные системы технологических процессов микро и наноэлектроники

Статья в сборнике трудов конференции

Развитие микро и наноэлектроники приводит к необходимости повышения эффективности и качества управления технологическими процессами производства их элементов и требуют новых подходов, основанных на применении новейших информационных технологий. Процедуры изготовления микро и наноэлектронных устройств включают разнообразные физико-химические, термические и механические процессы. Например, производство процессоров Intel и AMD содержит около 300 стадий технологического цикла. Поэтому существенную роль в их изготовлении играет квалифицированное управление технологическим процессом.

Библиографическая запись: Замятин, Н. В. Экспертные системы технологических процессов микро и наноэлектроники / Н. В. Замятин // Микро- и нанотехнологии в электронике: Материалы IX Международной научно-технической конференции. - Нальчик: Каб. - Балк. ун-т, 2017. - С. 485-490

Конференция:

• Микро- и нанотехнологии в электронике
• Россия, Кабардино-Балкарская, Нальчик, 27 мая-06 июня 2017,
• Российская

Издательство:

Издательство Кабардино-Балкарского университета

Россия, Кабардино-Балкарская, Нальчик