Физические основы нанотехнологий фотоники и оптоинформатики

Методические указания по самостоятельной работе

Самостоятельная работа направлена на углубление знаний дисциплины и предполагает обобщение изучаемых тем, а темы для самостоятельной проработки обобщают приобретенные знания и позволяют студенту самостоятельно решать задачи, возникающие при внедрении передовых технологий в производстве. Отдельные фрагменты тем могут составлять предмет научных исследований. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Физические основы нанотехнологий фотоники и оптоинформатики»

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Физические основы нанотехнологий фотоники и оптоинформатики: Методические указания по самостоятельной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2019. — 36 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/9115
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2019
Количество страниц: 36
Скачиваний: 5

Оглавление (содержание)

Раздел 1. Введение. Основные определения и физические основы нанотехнологий фотоники ...........5

Раздел 2. Эпитаксия, нанесение металлов и диэлектриков .................................6

Раздел 3. Методы оптической литографии. Современные технологии оптической литографии ......................7

Раздел 4 Формирование периодических наноструктур в диэлектрических и полупроводниковых средах с различной размерностью.....................................8

5 Лабораторные работы ......................................9

6 Практические занятия .....................................12

7 Темы для самостоятельного изучения разделов .............13

Тесты для проработки лекционного материала ..................15

Индивидуальные задания для самостоятельной работы .......17

Заключение.....................................................30

Рекомендуемая литература ......................31


Похожие пособия