Вакуумная и плазменная электроника

Целью дисциплины является формирование научной основы для осознанного и целенаправленного использования полученных знаний при эксплуатации элементов, приборов и устройств вакуумной и плазменной электроники, а также проектирования электронных схем на их основе. Задачей дисциплины является формирование у студентов системы знаний в области физики работы вакуумных и плазменных приборов и устройств, способности строить простейшие физические и математические модели вакуумных и плазменных приборов, применять физико-математический аппарат для расчета и моделирования физических процессов, протекающих в них. Процесс изучения дисциплины направлен на формирование следующих компетенций: способность проводить физико-математическое и физико-химическое моделирование исследуемых процессов и объектов с использованием современных компьютерных технологий (ПК-9); готовность применять знания о технических характеристиках и экономических показателях отечественных и зарубежных разработок материалов и компонентов нано- и микросистемной техники (ПК-20). Пособие предназначено для студентов очной формы, обучающихся по направления 222900 - «Нанотехнологии и микросистемная техника» (профиль – Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) по дисциплине «Вакуумная и плазменная электроника».