Сайты ТУСУРа

Исследование состава остаточной атмосферы в отпаянном приборе с помощью омегатронного масс-спектрометра

Методические указания к лабораторной работе

Целью данной работы является ознакомление с принципом работы омегатронного измерителя парциальных давлений, освоение методики определения состава и парциальных давлений остаточных газов в условиях вакуума.

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Исследование состава остаточной атмосферы в отпаянном приборе с помощью омегатронного масс-спектрометра: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 20 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3461
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2013
Количество страниц: 20
Скачиваний: 70
УДК:   543.271.08(076.5)

Оглавление (содержание)

1 Введение

2 Теоретическая часть

2.1 Основные параметры газоанализаторов

2.2. Масс-спектр и его расшифровка

2.3 Омегатронный масс-спектрометр

2.4 Контрольные вопросы

3 Экспериментальная часть

3.1 Оборудование

3.2 Задание

3.3 Порядок выполнения работы и методические указания

3.4 Содержание отчета

Список литературы

Приложение Спектральные характеристики некоторых газов и паров