Подготовка к проведению технологического процесса

Методические указания к лабораторной работе

В данной пособие рассмотрены инструкции и рекомендации по работе с наиболее употребляемыми приборами, применяемыми для подготовки и проведения технологических операций формирования элементов фотоники и оптоинформатики. В работе рассмотрены: порядок измерения форвакуума и высокого вакуума, методика оценки адгезии пленки, методика измерения расхода рабочего газа, методика измерения толщины пленки и коэффициента преломления.

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Подготовка к проведению технологического процесса: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 12 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3460
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2013
Количество страниц: 12
Скачиваний: 3

Оглавление (содержание)

1 Введение

2 Порядок выполнения работы и методические указания

2.1 Методика измерения вакуума

2.1.1 Измерение форвакуума (P<10-3 мм рт ст)

2.1.2 Измерение высокого вакуума (термопарный прибор должен «зашкаливать»)

2.2 Методика измерения адгезии пленки

2.3 Методика измерения расхода газа

2.4 Методика измерения толщины пленки на эллипсометре

2.4.1 Измерение металлической пленки по пропусканию лазерного излучения

2.4.2 Измерение толщины прозрачной пленки и показателя ее преломления

3 Задание

3.1 Задание по измерению вакуума

3.2 Задание по измерению адгезии пленки

3.3 Задание по измерению расхода газа

3.4 Задание по измерению толщины пленки на эллипсометре

4 Содержание отчета

Рекомендуемая литература