Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом

Методические указания к лабораторной работе

Целью настоящей работы является изучение процесса нанесения пленок магнетронным способом, выяснение механизма ионного распыления мишени магнетрона, расчеты параметров ионного распыления, исследование характеристик получаемых пленок.

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Орликов, Л. Н. Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2013. — 23 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/3459
Автор:   Орликов Л. Н.
Год издания: 2013
Количество страниц: 23
Скачиваний: 5
УДК:   621.385.64(076)

Оглавление (содержание)

1 Введение

2 Теоретическая часть

2.1 Особенности существования магнетронного разряда и принципиальная схема магнетрона

2.2 Параметры магнетронных распылительных систем

2.3 Параметры плазмы

2.4 Вольт-амперные характеристики магнетронных систем

2.5 Особенности конденсации ионнораспыленных атомов

2.6 Конструктивные схемы магнетронных систем

2.7 Геометрические параметры магнетронных систем

3 Экспериментальная часть

3.1 Вакуумное оборудование

3.2 Электронное оборудование

3.3 Порядок выполнения работы и методические указания

3.4 Вопросы для самопроверки

3.5 Содержание отчета

Список литературы



Похожие пособия