Методические указания к лабораторной работе
Цель работы: испытать метод термического испарения для напыления нашей пленки, определить достоинства и недостатки данного напыления. В результате – напыление пленки ZnO. Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по курсу «Спец. вопросы технологии».
Библиографическая запись:
Орликов, Л. Н. Моделирование условий формирования окисных пленок: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 19 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1918
Оглавление (содержание)
Цель работы
1 Введение
2 Теория
2.1 Свойства оксида цинка
2.2 Получение оксида цинка
2.3 Метод окисления ZnO
2.4 Модель окисления
2.5 Взаимодействие потока испаренных атомов в пролетном пространстве
2.6 Способы испарения
3. Экспериментальная часть
3.1 Описания метода термического испарения в вакууме
3.2 Рекомендованная последовательность операций
3.3 Эксперимент
3.4 Полученные ранее результаты
Контрольные вопросы
Список литературы