Процессы лазерной и электронно-ионной технологии

Методические указания к самостоятельной работе

Целью преподавания дисциплины «Процессы лазерной и электронно-ионной технологии» является ознакомление студентов с физическими процессами, протекающими в поверхностном слое твердого тела при торможении лазерного луча и ускоренных частиц, составляющими основу электронно-ионной и корпускулярной технологии Пособие предназначено для студентов очной формы, обучающиеся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по дисциплине «Процессы лазерной и электронно-ионной технологии».

Кафедра электронных приборов

Библиографическая запись:

Аксенов, А. И. Процессы лазерной и электронно-ионной технологии: Методические указания к самостоятельной работе [Электронный ресурс] / А. И. Аксенов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 13 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1904
Автор:   Аксенов А. И.
Год издания: 2012
Количество страниц: 13
Скачиваний: 3

Оглавление (содержание)

Введение

Раздел 1 Основы электронно-ионных и плазменных технологий

1.1 Содержание раздела

1.2 Методические указания по изучению раздела

Раздел 2 Взаимодействие электронов с твердым телом

2.1 Содержание раздела

2.2 Методические указания по изучению раздела

2.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 3 Взаимодействие ионов с твердым телом

2.1 Содержание раздела

2.2 Методические указания по изучению раздела

2.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 4 Тепловое действие лазерных, электронных и ионных лучей

4.1 Содержание раздела

4.2 Методические указания по изучению раздела

4.3 Вопросы для самопроверки

Раздел 5 Модификация поверхностных свойств твердого тела при облучении пучками ускоренных частиц

5.1 Содержание раздела

5.2 Методические указания по изучению раздела

5.3 Вопросы для самопроверки

6 Лабораторные занятия

7 Темы для самостоятельного изучения

Заключение

Список литературы